《半导体化成上位机系统》于 2025-04-09 取得计算机软件著作权登记证书,登记号 2025SR0593871,这是公司第 31 项软著登记。
半导体化成上位机系统是做什么的
化成工艺节奏长、参数多,人工设定与记录既慢又容易出错。这套上位机承担化成设备的流程控制中枢:配方管理、步序执行、过程数据记录一条龙,工艺员在界面上完成全部操作。
主要功能
- 配方管理:工艺配方版本化,改参数有记录可查
- 步序控制:化成流程按配方自动执行,异常自动暂停
- 过程记录:电压/电流/温度曲线全程留存,批量可追溯

应用场景
与设备 PLC 打通,操作工从「盯参数」变成「看结果」。
这项软著的完整信息收录于飞莱栖软件著作权 38 项清单,可在中国版权保护中心官网按登记号查验。想了解这套系统的落地情况,欢迎联系我们。


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