半导体设备数据监控系统获软著登记

《半导体设备数据监控系统》于 2025-04-14 取得计算机软件著作权登记证书，登记号 2025SR0612277，这是公司第 34 项软著登记。

半导体设备数据监控系统是做什么的

半导体设备的工艺腔、传送模块、真空与温控子系统数量多、节奏快，人工盯屏根本盯不过来。这套监控软件实时采集设备各模块的状态与工艺参数，异常趋势提前预警，并为工艺复盘保留完整的过程数据。

主要功能

• 实时状态采集：模块状态、关键工艺参数按秒级入库
• 报警与追溯：报警快照带上下文参数，复盘不用猜
• 曲线分析：多参数同屏对比，趋势异常一眼可见

应用场景

软件面向半导体与光学制造现场，与公司深耕的 SECS/GEM 联机方向互为补充。

这项软著的完整信息收录于飞莱栖软件著作权 38 项清单，可在中国版权保护中心官网按登记号查验。想了解这套系统的落地情况，欢迎联系我们。